Vacuum Coater ( ระบบเคลือบผิววัสดุในสภาวะสุญญากาศ )
Vacuum Coater คืออุปกรณ์ที่ใช้สำหรับการเคลือบผิววัสดุในสภาวะสุญญากาศ (Vacuum) โดยการสร้างฟิล์มบาง (Thin Film) บนพื้นผิวของวัสดุต่าง ๆ เช่น โลหะ แก้ว พลาสติก หรือเซรามิก กระบวนการนี้เป็นที่นิยมในอุตสาหกรรมหลากหลาย เช่น เซมิคอนดักเตอร์ อิเล็กทรอนิกส์ อุตสาหกรรมยานยนต์ และอุตสาหกรรมอวกาศ รวมถึงการผลิตเครื่องมือทางการแพทย์และเลนส์แสง
การใช้งาน Vacuum Coater
อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์: ใช้เคลือบฟิล์มบางสำหรับการผลิตวงจรรวม (Integrated Circuits) และแผ่นเวเฟอร์
อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์: ใช้เคลือบวัสดุที่นำไฟฟ้าหรือฉนวนบนพื้นผิวอุปกรณ์ เช่น หน้าจอสัมผัส หรือเลนส์กล้อง
การผลิตเลนส์และกระจก: เคลือบสารกันสะท้อน (Anti-Reflective Coating) หรือเคลือบฟิล์มสะท้อนแสงสำหรับเลนส์กล้องและกระจก
อุตสาหกรรมยานยนต์: เคลือบวัสดุที่ทนต่อการสึกหรอหรือสารกันรอยขีดข่วนบนชิ้นส่วนยานยนต์ เช่น ลูกสูบหรือชิ้นส่วนเครื่องยนต์
อุตสาหกรรมอวกาศ: เคลือบวัสดุป้องกันความร้อนและการกัดกร่อนในสภาพแวดล้อมอวกาศ
งานชีวการแพทย์: เคลือบฟิล์มที่ช่วยป้องกันการกัดกร่อนหรือเพิ่มความเข้ากันได้ทางชีวภาพ เช่น การเคลือบไทเทเนียมบนรากฟันเทียม
Vacuum Coating Systems ( ระบบเคลือบผิววัสดุในสภาวะสุญญากาศ )
SEM Coaters
( Scanning Electron Microscope )
Sputter Coaters
( โดยใช้กระบวนการ Sputtering )
Carbon Coaters
( โดยใช้ชั้นฟิล์มบางคาร์บอน )
Thermal Evaporators
( โดยใช้กระบวนการระเหยสาร )
PLD-T Deposition
( โดยใช้เลเซอร์พลังงานสูง )
RF Generators
( Radio Frequency Generators )
Rotary Vacuum Pumps
( โดยการกำจัดอากาศออกจากพื้นที่ปิด )
Sputtering Targets
( เป็นแหล่งของอะตอมที่ใช้สร้างฟิล์มบาง )