Thin Film Metrology System ( เครื่องวัดความหนาชั้นเคลือบฟิล์มบางบนวัสดุ )

 

 

Thin Film Metrology System

                                               ( เครื่องวัดความหนาชั้นเคลือบฟิล์มบางบนวัสดุ )

 

vลักษณะทั่วไป

Ø  ใช้วัดค่าความหนาชั้นฟิล์มบาง ( Optical Transparent Film ) ที่เคลือบบน Wafer-โลหะ-แก้ว เป็นต้น

Ø  วัดค่าความหนาได้ตั้งแต่ 10 นาโนเมตร ถึง 50 ไมโครเมตร ด้วยความละเอียด 1 นาโนเมตร

Ø  วัดค่าได้ในแบบต่อเนื่อง ( Real-time On-line ) จึงสามารถใช้ Monitor ค่าความหนาขณะเคลือบได้

Ø  มีรุ่นสำหรับใช้วัดใน Vacuum Chambers เพื่อควบคุณภาพของการเคลือบในขณะผลิต

 

v  ตัวอย่างการใช้งาน

Ø  ใช้วัดค่าความหนาชั้นเคลือบฟิล์มบางบนชิ้นส่วนโลหะ , กระจก , เลนส์ , อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ , ผิวเซ็นเซอร์

   จอภาพ LCD-LED-Plasma , ฟิลเตอร์กรองแสง , แผ่น Wafer, แว่นตา เป็นต้น

 

vสาขาที่ใช้งาน

              Ø  ฟิสิกส์สารกึ่งตัวนำ ( Semiconductor ) , โซลาเซลล์ , จอภาพแสดงผล , กระจก , เลนส์ เป็นต้น 


  • ULS2048L-EVO.jpg
    AVa-Thinfilm ULS2048CL-EVO AVANTESได้นำเทคโนโลยีCMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor)เข้ามาแทนที่เทคโนโลยีCCD (Charge Coupled Device )รวมถึงการใช้USB 3.0ซึ่งสามารถโอน...

  • 2048CL.jpg
    Thin Film Metrology System ULS2048CL-EVO-RS AVANTESได้นำเทคโนโลยีCMOS ( Complementary Metal Oxide Semiconductor )เข้ามาแทนทเทคโนโลยีCCD ( Charge Coupled Device )รวมถึงการใช้U...

ดาวน์โหลดเอกสารเพิ่มเติม

 

1. Avantes ( Thin film diagnostics by UV spectroscopic reflectometry ) :  ตัวอย่างการใช้งานเพื่อหาคุณสมบัติด้านต่างๆของฟิล์มบาง ด้วยเทคนิคการสะท้อนแสง

2. Avantes ( Spectro ellipsometer innovation using AVantes ... ) :  ตัวอย่างการใช้งานเพื่อหาความหนาของฟิล์มบางและโครงสร้างพื้นผิวแบบ 3 มิติ ในระดับนาโนเมตร

Visitors: 78,993