Optical Emission Spectrometer / Plasma Monitor ( เครื่องวิเคราะห์องค์ประกอบทางเคมีของธาตุในกระบวนการพลาสมา )

 

Optical Emission Spectrometer

  ( เครื่องวิเคราะห์องค์ประกอบทางเคมีของธาตุในกระบวนการพลาสมา )

 

v  ลักษณะทั่วไป

Ø  ใช้วัดสเปกตรัมแสงและรังสีจากกระบวนการพลาสมาในช่วงความยาวคลื่น UV-VIS

Ø  ใช้วัดสเปกตรัมจากแหล่งกำเนิดแสงและรังสีพลาสมา ( Plasma Sources ) ได้ทุกชนิด 

Ø  ใช้วิเคราะห์หาชนิดองค์ประกอบทางเคมีของธาตุ เช่น โมเลกุล , โมเลกุลพิเศษ , ไอออน , อะตอม

Ø  วัดและบันทึกค่าได้แบบ Real-time On-line เพื่อใช้ Monitor การเปลี่ยนแปลงของปฏิกิริยา

Ø  บันทึกข้อมูลการวัดเข้าสู่ MS-Excel ให้โดยอัตโนมัติ

Ø  สามารถแสดงผลสเปกตรัมได้ในแบบ 3D เพื่อวิเคราะห์หาการเปลี่ยนแปลงของปฏิกิริยา

 

v  ตัวอย่างการใช้งาน

Ø  ใช้วิเคราะห์หาชนิดของโมเลกุลและโมเลกุลพิเศษในกระบวนการเกิดปฏิกิริยาเคมี เช่น โมเลกุลของอนุมูลอิสระ ( Free Radicals )

Ø  ใช้สังเกตุการเกิด Ionization ของธาตุในกระบวนการต่างๆ

Ø  ใช้สังเกตุและตรวจวัดพลาสมาในกรรมวิธีพื้นผิว เช่น Nitrogenation ของโลหะ , การทำ Etching ของสารกึ่งตัวนำ , 

  การทำ Thin Film Coating ที่ผิวหน้าพลาสติกหรือโลหะ เป็นต้น

Ø ใช้ทดสอบเครื่องพลาสมาเย็นสำหรับการรักษาทางการแพทย์ เช่น การฆ่าเชื้อที่เป็นสาเหตุของสิว การรักษาแผลเรื้อรังหรือแผลผ่าตัด 

  รวมถึงการใช้ในด้านความงาม เช่น การทำให้ผิวหน้ากระจ่างใส ทำตาสองชั้น แก้ปัญหาหนังตาตก โดยใช้พลาสมาเย็นแทนการผ่าตัดหรือเลเซอร์

Ø  ใช้ตรวจสอบและวิเคราะห์การใช้พลาสมาในด้านการตัดแต่งพันธุกรรมพืชและสัตว์

      

v  สาขาที่ใช้งาน 

 

Øฟิสิกส์ , เคมี , ชีววิทยา , วัสดุศาสตร์ , เทคโนโลยีชีวภาพ , การแพทย์ , คลินิกเสริมความงามและโรงพยาบาล , การเกษตร

  อุตสาหกรรมการเคลือบผิวแบบ PVD และ CVD , อุตสาหกรรมฮาร์ดดิสก์และไมโครชิพ , การผลิตหลอดไฟ เป็นต้น

ซอฟท์แวร์เพิ่มเติม
  • Specline Analytical Software
    AvaLIBS-Specline-A

    ซอฟท์แวร์วิเคราะห์หาชนิดของ อะตอม-ไอออน
  • Specline Analytical Software
    AvaLIBS-Specline-AM

    ซอฟท์แวร์วิเคราะห์หาชนิดของ อะตอม-ไอออน-โมเลกุล
  • Specline Analytical Software
    AvaLIBS-Specline-AMS

    ซอฟท์แวร์วิเคราะห์หาชนิดของ อะตอม-ไอออน-โมเลกุล-โมเลกุลพิเศษ

ดาวน์โหลดเอกสารเพิ่มเติม

 

1. Avantes ( OES in the Fabrication of Integrated Circuits ) :  ตัวอย่างการใช้งานเครื่อง OES เพื่อมอนิเตอร์กระบวนการ Plasma Etching ในอุตสาหกรรมผลิตไอซีและไมโครอิเล็กทรอนิกส์

2. Avantes ( Optical Spark Emission Spectroscopy ) :  ตัวอย่างการใช้งานเครื่อง OES เพื่อใช้วิเคราะห์หาชนิดของโลหะด้วยเทคนิค Spark Emission

3. Avantes ( Plasma Measurements ) :  ตัวอย่างการใช้งานเครื่อง OES เพื่อวัดสเปกตรัมของก๊าซไฮโดรเจนและฮีเลียม

4. Avantes ( Plasma OES Applications ) :  ตัวอย่างการใช้งานเครื่อง OES เพื่อมอนิเตอร์กระบวนการ Plasma Etching ในอุตสาหกรรมเคลือบวัสดุ และกระบวนการฟิวชั่นของเครื่องกำเนิดไฟฟ้าพลังงานนิวเคลียร์

5. Detection of hydrocarbon radicals ... :  ตัวอย่างการใช้งานเครื่อง OES เพื่อวัดหาอนุมูลไฮโดรคาร์บอนระหว่างกระบวนการ Plasma Etching

6. Plasma monitoring and PECVD process ... :  ตัวอย่างการใช้งานเครื่อง OES เพื่อมอนิเตอร์กระบวนการเคลือบฟิล์มบางแบบ PECVD ในอุตสาหกรรมผลิตเซลล์แสงอาทิตย์

7. Spectral study of glow discharge ... :  ตัวอย่างการใช้งานเครื่อง OES เพื่อศึกษาโครงสร้างของอนุภาคอะลูมิเนียมออกไซด์ Al2O3 ) ภายใต้พลาสมาของก๊าซนีออน ( Neon ) และก๊าซอาร์กอน ( Argon )

Visitors: 41,835