Magnetron Sputter Coater ( เครื่องเคลือบฟิล์มบางด้วยระบบแมกนีตรอนสปัตเตอริง )
Magnetron Sputter Coater
( เครื่องเคลือบฟิล์มบางด้วยระบบแมกนีตรอนสปัตเตอริง )
Magnetron Sputter
Coating คือ
กระบวนการที่ทำให้อะตอมของสารเคลือบ ( Coating Target ) หลุดออกมาโดยการป้อนก๊าซเฉื่อยที่อยู่ในสภาวะ
พลาสมาให้ไหลเข้าไปชนกับผิวของสารเคลือบ และใช้สนามแม่เหล็กจากแมกนีตรอน ( Magnetron
) เข้ามาควบคุมความเร็วในการเคลื่อนที่ของก๊าซ
จากการเพิ่มปริมาณของพลาสมาจะทำให้อัตรา
การสปัตเตอริงสูงขึ้น
อะตอมของสารเคลือบจึงหลุดออกมาอย่างต่อเนื่องกลายเป็นไอของสารตั้งต้น
และวิ่งเข้าไป
เคลือบลงบนผิวของวัสดุรองรับ ( Sample Target )
สาขาที่ใช้งาน
Ø อุตสาหกรรมโลหะ , อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ , อุตสาหกรรมเซรามิก ,
ห้องปฏิบัติการกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด ( Scanning Electron Microscope / SEM ) เป็นต้น
-
ใช้สำหรับเตรียมฟิล์มโลหะทางด้าน
- Electronics, Optics
- Special Ceramics, SEM -
CY-MSP500S-DCRF-B ใช้สำหรับเตรียมตัวอย่างฟิล์ม
- Single-layer ferroelectric
- Multi-layer ferroelectric
- Conductive / Alloy
- Semiconductor
-
CY-MSP500S-DCRF-RE ใช้สำหรับเตรียมตัวอย่างฟิล์ม
- Multi-layer ferroelectric
- Conductive / Alloy
- Semiconductor -
CY-MSE325S-2TA1S เครื่องเคลือบ 2 in 1
- ใช้เตรียมฟิล์มโลหะและอโลหะ
- ใช้เตรียมฟิล์มโลหะทาง Electronics, SEM
-
ใช้สำหรับเตรียมฟิล์มโลหะทางด้าน
- Electronics, Optics
- Special Ceramics, SEM -
CY-MSP180G-ALDC เหมาะสำหรับการเคลือบ
- Aluminum plating
- วัสดุที่มีความไวต่ออากาศ -
CY-MSP180G-DC ใช้สำหรับการเคลือบวัสดุโลหะ
( ที่มี Temperature Rise ต่ำ ) -
ใช้สำหรับการเตรียมตัวอย่างฟิล์ม
- Single-layer ferroelectric
- Multi-layer ferroelectric
- Oxide / PTFE
-
CY-MSP210S-RFD ใช้สำหรับเตรียมตัวอย่างฟิล์ม
- Non-metals
- Metal oxides -
สำหรับใข้ในห้องปฏิบัติการ -
ใช้สำหรับเตรียมตัวอย่างฟิล์ม
- Single-layer ferroelectric
- Multi-layer ferroelectric
- Conductive / Semiconductor
- Alloy / Optical -
ใช้สำหรับเตรียมตัวอย่างฟิล์ม
- Single-layer ferroelectric
- Multi-layer ferroelectric
- Conductive / Semiconductor
- Alloy / Optical
-
เหมาะสำหรับการใช้งานใน R&D Labs
ใช้สำหรับเตรียมตัวอย่างฟิล์ม
- Ferroelectric
- Semiconductor
- PTFE / อื่นๆ -
เหมาะสำหรับการใช้งานใน R&D Labs
ใช้สำหรับเตรียมตัวอย่างฟิล์ม
- Ferroelectric
- Semiconductor
- PTFE / อื่นๆ -
CY-MSE300S-DC ใช้สำหรับเคลือบตัวอย่าง
( ด้าน Household และ Industries )
- Metal
- Transparent
- Non-conductive
-
CY-MSP300S-RFDC ใช้สำหรับการเตรียมตัวอย่างฟิล์ม
- Single-layer ferroelectric
- Multi-layer ferroelectric
- Conductive / Semiconductor
- Alloy / Optical
-
CY-MSP300S-2RF-2FG ใช้เตรียมฟิล์มในห้องแล็บ
- Single-layer ferroelectric
- Multi-layer ferroelectric
- Conductive / Semiconductor
- Oxide / อื่นๆ -
เหมาะสำหรับใช้งานในด้าน
- Growth of thin-film solar cell
- Research of ELOEL molecular organic
( Electroluminescent devices thin films ) -
ใช้สำหรับเตรียมตัวอย่างฟิล์ม
- Ferroelectric
- Conductive / Semiconductor
- Optical / อื่นๆ -
เหมาะสำหรับใช้งานในด้าน
- Growth optical crystals
- Ferroelectrics
- Ferromagnets
- Superconductors
- Organic compound
-
ใช้สำหรับเตรียมตัวอย่างฟิล์ม
- Nanometer single-layer functional film
- Nanometer multi-layer functional film
- Metal / Semiconductor / อื่นๆ -
สามารถใช้งานโดยควบคุมผ่าน IPC and PLC
เหมาะสำหรับใช้ในงานด้าน
- Semiconductor / LED / Photovoltaic -
ใช้สำหรับเตรียมตัวอย่างฟิล์ม
- Nanometer single-layer functional film
- Nanometer multi-layer functional film
- Metal / Semiconductor / อื่นๆ -
สำหรับเคลือบฟิล์มหลายชั้นที่มีสารเคลือบแตกต่างกัน
- มีเป้าหลอม Evaporating 4 เป้า
- พร้อม Temperature Control
-
CY-VTC-600-2HD ใช้สำหรับเคลือบฟิล์มโลหะ
- มาพร้อม Thickness Monitor